设备中所使用的的频率范围300kHz~300MHz。射频电源是等离子体发生器的配套电源，大多数都用在在低压或常压气氛中产生等离子体，在集成电路制造工艺中被大范围的应用于射频溅射、PECVD、等离子体刻蚀及其他工艺领域。

  由于不同气体的等离子体具有不一样的化学性能，因而常被应用于不同的工艺设备。例如，氧气的等离子体具备极高的氧化性。可与光刻胶发生氧化反应生成气体。进而达到清洗的效果，因此常用于半导体设备中的去胶机；腐蚀性气体的等离子体具有非常好的各向异性，十分符合刻蚀工艺的需求，因而常应用于等离子刻蚀机。

  常用的射频电源的输出频率有2MHz、13. 56MHz、27. 12MHz、40. 68MHz、60MH等，射频功率为数瓦至数千瓦。图8-245所示为目前较为先进的开关型固态射频电源原理示意图。其特点是，通过高频（100kHz） 开关整流电路的集成应用，省去了笨重且体积非常庞大的低频变压器，并为射频驱动回路提供驱动电力；与传统的线性射频电源相比，具有低电力损耗、低存储能量、系统体积小型化的特点，因而非常适用于半导体薄膜设备及工业镀膜设备的等离子真空工艺。

  目前我国先进的等离子体设备使用的射频电源，与国外同类电源相比还存在一定差距，要超赶上国际水平，还需要做很多工作：

  1）目前我国的射频电源采用大多是电子管电子管、晶体管混合电路，体积较大，限制了它的应用。并且使用的晶体管大多为国外进口，因此，需要研制我国自主核心的晶体管，研制新技术、新元器件，使射频电源小型化2）目前我国使用的还是阻抗手动匹配器，容易受外因的影响，而国外已开始使用阻抗自动匹配器，在工业自动化领域发挥着重要的作用，因此，高精度、高速度的阻抗自动匹配器是未来发展的必然趋势。3）与国外射频电源相比，我国射频电源种类较为单一，今后还应该进行宽频带电源、微波电源、高功率射频电源等不一样射频电源的研制。根据QYR（恒州博智）的统计及预测，2022年全球半导体射频电源市场销售额达到了7.26亿美元，预计2029年将达到14.57亿美元，年复合增长率（CAGR）为11.18%（2023-2029）。地区层面来看，中国市场（含台湾地区）在过去几年变化较快，2022年市场规模为96.6百万美元，约占全球的13.31%，预计2029年将达到188.52百万美元，届时全球占比为12.94%。

  生产端来看，北美和日本是两个重要的生产地区，2022年分别占有36.04%和23.17%的市场占有率，预计未来几年，中国地区将保持最快增速，预计2029年份额将达到11.71%。从产品产品类型方面来看，13.56MHz占有主体地位，预计2029年份额将达到32.1%，其次是27.12Mhz类型。同时就应用来看，蚀刻在2022年份额大约是36.56%，未来几年CAGR大约为11.09%。从生产商来说，全世界内，半导体射频电源核心厂商最重要的包含万机仪器、美国优仪（AE）、日本大阪变压器株式会社、XP Power和通快等。2022年，全球第一梯队厂商主要有万机仪器、美国优仪（AE）、日本大阪变压器株式会社，第一梯队占有大约52.95%的市场占有率；第二梯队厂商有通快、康姆艾德、京三制作所、北广科技、爱发科、日本电子株式会社、c Plasma Technology、New Power Plasma等，共占有33.99%份额。

  ——保障电子设备可靠性的重要一环 随着电子科技的持续不断的发展，电子设备已成为人类生活和工作不可或缺的一部分，而

  营业额增长5.4%，增幅大大低于2006年的12.6%。在10大供应商中，有四家营业收入增长率低于

  规模达到了xx亿元，预计2026年将达到xx亿元，年复合增长率(CAGR)为xx%。本报告研究全球与中国

  行业涨价消息频传，业内关于涨价现象和原因的讨论层出不穷，在需求井喷的情况下，各厂家的扩产你追我赶，而国产替代则是其背后最直接的因素。为此，财联社记者与会多场高规格论坛、会议，采访多位从业人士、公司高管及专家学者，试图描摹

  规模约为26亿元，前道量测检测规模约为119.46亿元，后道测试规模约116.87亿元。

  几家公司接连遭遇美国芯片“断供”事件引起全国和国际社会的广泛关注，中国的

  行业的发展形势依旧严峻。近期，SGS管理学院总监汪姝女士对话紫光宏茂微电子公司的质量与可靠性总监张健健，从

  异军突起， 另一方面， 全球产业面临超级周期，加上人工智能等新兴应用的崛起，中美科技摩擦频发，全球

  厂商的资本投入增长了 22.7%。2013 年和 2016 年则分别受 2012 年和 2015 年全球

  产业受到地震与海啸的严重破坏。在日本311地震一周年之际，IHS iSuppli的